控制系统主要是精细控制,达不到要求。他们加工芯片精度要控制在一纳米。这个也就比原子稍微大一些,任何一点控制系统反应迟钝,都会造成灾难性的后果。
而现在光刻机控制系统的信息处理速度却达不到要求。必须要接收到传感器信息,之后经过系统判断,再传导给光刻机的控制机构。
整个反馈需要的时间太长,主要是没有先进芯片,构成控制系统的核心。导致光刻机加工芯片失败。
这点还可以通过技术手段解决,李浩现在就能想到一个办法,就是把智能芯片运用到这里。
通过刚才王容哲所做的实验,他就知道智能芯片一定会解决这个问题。
第二个难关就是材料问题,由于他们设计的光刻机主要是针对碳基芯片进行加工。
它的结构和平常的光刻机还是有区别的。最关键的就是架设叠加激光器的支架。
这个支架设计指标是让激光去做各种动作,他必须要比人的手指还灵活,反应的时间也要尽可能的短。
支架的结构设计通过项目组科研人员共同努力已经解决,但它需要一种摩擦系数尽可能小的材料,现在还没找到理想的材料。
这只是光刻机项目遇到的普通难关,李浩觉得随着时间的发展,这些问题早晚会得到解决。
最为棘手的问题就是光栅材料问题。现在郭建濯已经研发出稳定的光栅。
但是它有一个特点,必须在曝光之后,短时间内控制光栅内部的晶体结构发生变化。
这需要极为精细的电流激发,解决晶体结构产生的问题,这对控制系统要求很高。
如果不成功,无法解决光栅内部晶体结构的影响,那它控制光路径的效果也随之失效,整个芯片就无法完成加工。
王容哲听到冯凯说完,他突然插话道:“这几个问题解决方法很简单。至于困扰你们这么长时间。”
第282章 简单的解决办法